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英飛凌芯片簡史
來源: | 作者:pmo9f5254 | 發(fā)布時間: 1906天前 | 4444 次瀏覽 | 分享到:


IGBT 1234567,看這一篇就夠了

話說公元2018年,IGBT江湖驚現(xiàn)第六代和第七代的掌門人,一時風(fēng)頭無兩,各路吃瓜群眾紛紛猜測二位英雄的出身來歷。不禁有好事者梳理了一下英家這些年,獨領(lǐng)風(fēng)騷的數(shù)代當(dāng)家掌門人,分別是:

 

 

 

呃,好像分不清這都誰是誰?

 

呃,雖然這些IGBT“掌門人表面看起來都一樣,但都是悶騷型的。只能脫了衣服,做個臟手術(shù)。。。

 

像這樣,在芯片上,橫著切一刀看看。

  

 

好像,有點不一樣了。。。

 

故事,就從這兒說起吧。。。

 

史前時代-PT

 

 

PT是最初代的IGBT,它使用重?fù)诫s的P+襯底作為起始層,在此之上依次生長N+ buffer,N- base外延,最后在外延層表面形成元胞結(jié)構(gòu)。它因為截止時電場貫穿整個N-base區(qū)而得名。它工藝復(fù)雜,成本高,而且需要載流子壽命控制,飽和壓降呈負(fù)溫度系數(shù),不利于并聯(lián),雖然在上世紀(jì)80年代一度呼風(fēng)喚雨,但在80年代后期逐漸被NPT取代,目前已歸隱江湖,不問世事,英飛凌目前所有的IGBT產(chǎn)品均不使用PT技術(shù)。

 

初代盟主——IGBT2

 

 

特征:平面柵,非穿通結(jié)構(gòu)(NPT)

 

NPT-IGBT1987年出山,很快在90年代成為江湖霸主。NPTPT不同在于,它使用低摻雜的N-襯底作為起始層,先在N-漂移區(qū)的正面做成MOS結(jié)構(gòu),然后用研磨減薄工藝從背面減薄到 IGBT 電壓規(guī)格需要的厚度,再從背面用離子注入工藝形成P+ collector。在截止時電場沒有貫穿N-漂移區(qū),因此稱為非穿通IGBT。NPT不需要載流子壽命控制,但它的缺點在于,如果需要更高的電壓阻斷能力,勢必需要電阻率更高且更厚的N-漂移層,這意味著飽和導(dǎo)通電壓Vce(sat)也會隨之上升,從而大幅增加器件的損耗與溫升。

 

技能:低飽和壓降,正溫度系數(shù),125℃工作結(jié)溫,高魯棒性

 

因為N-漂移區(qū)厚度大大降低了,因此Vce(sat)相比PT大大減少。正溫度系數(shù),利于并聯(lián)。

 

名號:DLC,KF2C,S4…

 

等等,好像混進(jìn)了什么奇怪的東西!

 

沒寫錯!S4真的不是IGBT4,它是根正苗紅的IGBT2,適用于高頻開關(guān)應(yīng)用,硬開關(guān)工作頻率可達(dá)40kHz。這一明星產(chǎn)品,至今銷路仍然不錯。

 

性能飛躍--IGBT3

 

特征:溝槽柵,場截止(Field Stop

 

IGBT3的出現(xiàn),又在IGBT江湖上掀起了一場巨大的變革。IGBT3的元胞結(jié)構(gòu)從平面型變成了溝槽型。溝槽型IGBT中,電子溝道垂直于硅片表面,消除了JFET結(jié)構(gòu),增加了表面溝道密度,提高近表面載流子濃度,從而使性能更加優(yōu)化。(平面柵與溝槽柵技術(shù)的區(qū)別可以參考我們之前發(fā)表過的文章平面型與溝槽型IGBT結(jié)構(gòu)淺析)。

 

縱向結(jié)構(gòu)方面,為了緩解阻斷電壓與飽和壓降之間的矛盾,英家于2000年推出了Field Stop IGBT,目標(biāo)在于盡量減少漂移區(qū)厚度,從而降低飽和電壓。場截止(Field StopIGBT起始材料和NPT相同,都是低摻雜的N-襯底,不同在于FS IGBT背面多注入了一個N buffer層,它的摻雜濃度略高于N-襯底,因此可以迅速降低電場強(qiáng)度,使整體電場呈梯形,從而使所需的N-漂移區(qū)厚度大大減小。此外,N buffer還可以降低P發(fā)射極的發(fā)射效率,從而降低了關(guān)斷時的拖尾電流及損耗。(了解更多NPT與場截止器件的區(qū)別請參考:PT,NPT,FSIGBT的區(qū)別)。

 

技能:低導(dǎo)通壓降,125℃工作結(jié)溫(600V器件為150℃),開關(guān)性能優(yōu)化

 

得益于場截止以及溝槽型元胞,IGBT3的通態(tài)壓降更低,典型的Vce(sat)從第2代的典型的3.4到第3代的2.55V3300V為例)。

 

名號:T3,E3,L3

 

IGBT3在中低壓領(lǐng)域基本已經(jīng)被IGBT4取代,但在高壓領(lǐng)域依然占主導(dǎo)地位,比如3300V4500V,6500V的主流產(chǎn)品仍然在使用IGBT3技術(shù)。

 

中流砥柱--IGBT4

 

 

IGBT4是目前使用最廣泛的IGBT芯片技術(shù),電壓包含600V,1200V1700V,電流從10A3600A,各種應(yīng)用中都可以見到它的身影。

 

特征:溝槽柵+場截止+薄晶圓

 

IGBT3一樣,都是場截止+溝槽柵的結(jié)構(gòu),但IGBT4優(yōu)化了背面結(jié)構(gòu),漂移區(qū)厚度更薄,背面P發(fā)射極及N buffer的摻雜濃度及發(fā)射效率都有優(yōu)化。

 

技能:高開關(guān)頻率,優(yōu)化開關(guān)軟度,150℃工作結(jié)溫

 

IGBT4通過使用薄晶圓及優(yōu)化背面結(jié)構(gòu),進(jìn)一步降低了開關(guān)損耗,同時開關(guān)軟度更高。同時,最高允許工作結(jié)溫從第3代的125℃提高到了150℃,這無疑能進(jìn)一步增加器件的輸出電流能力。

 

名號:T4,E4,P4

 

T4是小功率系列,開關(guān)頻率最高20kHz。

 

E4適合中功率應(yīng)用,開關(guān)頻率最高8kHz。

 

P4對開關(guān)軟度進(jìn)行了更進(jìn)一步優(yōu)化,更適合大功率應(yīng)用,開關(guān)頻率最高3kHz。

 

土豪登場--IGBT5

 

土豪金芯片

 

 

特征:溝槽柵+場截止+表面覆蓋銅

 

IGBT5是所有IGBT系列里最土豪的產(chǎn)品,別的芯片表面金屬化都用的鋁,而IGBT使用厚銅代替了鋁,銅的通流能力及熱容都遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于鋁,因此IGBT5允許更高的工作結(jié)溫及輸出電流。同時芯片結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化,芯片厚度進(jìn)一步減小。

 

技能:175℃工作結(jié)溫,1.5V飽和電壓,輸出電流能力提升30%

 

因為IGBT5表面覆銅,并且在模塊封裝中采用了先進(jìn)的.XT封裝工藝,因此工作結(jié)溫可以達(dá)到175℃。芯片厚度相對于IGBT4進(jìn)一步減薄,使得飽和壓降更低,輸出電流能力提升30%。

 

名號:E5P5

 

目前IGBT5的芯片只封裝在PrimePACK?里,電壓也只有1200V1700V,代表產(chǎn)品FF1200R12IE5FF1800R12IP5。

 

 

真假李逵--TRENCHSTOP?5

 

在單管界,有一類產(chǎn)品叫TRENCHSTOP?5。經(jīng)常聽到有人問H5F5、S5L5是不是IGBT5?嚴(yán)格意義來講并不是,雖然名字里都帶5,但是H5F5、S5這些單管的5系列,屬于另外一個家族叫TRENCHSTOP?5。這個家族沒有黃金甲加持,基因也和IGBT5不一樣。

 

特征:精細(xì)化溝槽柵+場截止

 

雖然都叫溝槽柵,但TRENCHSTOP?5長得還是和前輩們大相徑庭。它的溝道更密,電流密度更高。在達(dá)到最佳操作性能同時,并不具備短路能力。

 

技能:175℃最大工作結(jié)溫,高開關(guān)頻率,無短路能力

 

性能和短路,永遠(yuǎn)是一對矛盾體。為了追求卓越的性能,TRENCHSTOP?5犧牲掉了短路時間。TRENCHSTOP?5可以根據(jù)應(yīng)用目的不同,取得極低的導(dǎo)通損耗,或者極高的開關(guān)頻率,開關(guān)頻率最高可達(dá)70~100kHz,而導(dǎo)通壓降最低可低至1.05V。

 

名號:H5,F5,S5,L5

 

TRENCHSTOP?5目前只有650V的器件,并且都是分立器件。這一系列產(chǎn)品針對不同的應(yīng)用進(jìn)行了通態(tài)損耗和開關(guān)損耗的優(yōu)化。其中H5/F5適合高頻應(yīng)用,L5導(dǎo)通損耗最低。TRENCHSTOP?5各個產(chǎn)品在折衷曲線上的位置如下圖所示。

 

 

 

后起之秀--IGBT6

 

6掌門雖然和4掌門之間隔了個5,但6其實是4的優(yōu)化版本,依然是溝槽柵+場截止。IGBT6目前只在單管中有應(yīng)用。

 

特征:溝槽柵+場截止

 

器件結(jié)構(gòu)和IGBT4類似,但是優(yōu)化了背面P+注入,從而得到了新的折衷曲線。

 

技能:175℃最大工作結(jié)溫,Rg可控,3us短路

 

IGBT6目前發(fā)布的有2個系列的產(chǎn)品,S6導(dǎo)通損耗低,Vce(sat) 1.85V; H6開關(guān)損耗低,相比于H3,開關(guān)損耗降低15%。

 

名號:S6,H6

 

IGBT6只有單管封裝的產(chǎn)品,例如:IKW15N12BH6IKW40N120CS6,封裝有TO-247 3pinTO-247 plus 3pin,TO-247 plus 4pin

 

 

 

萬眾矚目--IGBT7

 

 

 

IGBT經(jīng)數(shù)代,厚積薄發(fā),2018年終于迎來了萬眾矚目的IGBT7。

 

特征:微溝槽柵+場截止

 

雖然都是溝槽柵,但多了一個微字,整個結(jié)構(gòu)就大不一樣了。IGBT7溝道密度更高,元胞間距也經(jīng)過精心設(shè)計,并且優(yōu)化了寄生電容參數(shù),從而實現(xiàn)5kv/us下的最佳開關(guān)性能。

 

更多IGBT7信息,請參考:1200V IGBT7Emcon7可控性更佳,助力提升變頻器系統(tǒng)性能。

 

技能:175℃過載結(jié)溫,dv/dt可控

 

IGBT7 Vce(sat)相比IGBT4降低20%,可實現(xiàn)最高175℃的暫態(tài)工作結(jié)溫。

 

名號:T7,E7

 

代表產(chǎn)品有:FP25R12W1T7。T7專為電機(jī)驅(qū)動器優(yōu)化,可以實現(xiàn)5kv/us下最佳性能。E7應(yīng)用更廣泛,電動商用車主驅(qū),光伏逆變器等。

 

一張表看懂IGBT1234567

 

 

 

 

有道是,

江山代有才人出,各領(lǐng)風(fēng)騷沒兩年。

7已經(jīng)羽翼漸豐,獨擋一面,

8還會遠(yuǎn)嗎?

 

讓我們拭目以待吧!

  

 

關(guān)于英飛凌

英飛凌設(shè)計、開發(fā)、制造并銷售各種半導(dǎo)體和系統(tǒng)解決方案。其業(yè)務(wù)重點包括汽車電子、工業(yè)電子、射頻應(yīng)用、移動終端和基于硬件的安全解決方案等。

 

英飛凌將業(yè)務(wù)成功與社會責(zé)任結(jié)合在一起,致力于讓人們的生活更加便利、安全和環(huán)保。半導(dǎo)體雖幾乎看不到,但它已經(jīng)成為了我們?nèi)粘I钪胁豢苫蛉钡囊徊糠?。不論在電力生產(chǎn)、傳輸還是利用等方面,英飛凌芯片始終發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。此外,它們在保護(hù)數(shù)據(jù)通信,提高道路交通安全性,降低車輛的二氧化碳排放等領(lǐng)域同樣功不可沒。


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